Mikroskop elektron pengimbas

Daripada Wikipedia, ensiklopedia bebas.
Lompat ke: pandu arah, cari
Butiran debunga yang diletakkan pada SEM ini menunjukkan kedalaman medan SEM mikrograf tipikal.
SEM Cambridge S150 dengan EDAX (kiri) di Universiti Kiel (1980)
Ruangan sampel terbuka SEM

Mikroskop elektron pengimbas (scanning electron microscope, SEM) ialah sejenis mikroskop elektron yang membayangkan permukaan sampel melalui pengimbasannya dengan sinaran bertenaga tinggi elektron dalam satu corak pengimbasan cakar. Elektron berinteraksi dengan atom-atom yang mmebuatkan sampel tersebut menghasilkan isyarat yang mengandungi maklumat mengenai topografi permukaan sampel, komposisi dan sifat-sifat lain seperti kekonduksian elektrik.