Portal:Nanoteknologi/Featured article

Microelectromechanical Systems (MEMS) adalah teknologi yang sangat kecil, dan gabungan pada skala nano ke dalam "Sistem Nanoelectromechanical" (NEMS) dan Nanoteknologi. Di Eropah, MEMS sering disebut sebagai Micro Systems Technology (MDT). Oleh kerana kawasan permukaan besar MEMS terhadap kelantangan, kesan permukaan seperti elektrostatika dan membasahi mendominasi kelantangan kesan seperti inersia atau massa terma. Mereka dibuat menggunakan diubahsuai silikon teknologi fabrikasi (digunakan untuk membuat elektronik), mencetak dan plating, basah etsa (KOH, TMAH) dan kering etsa (Rie dan Drie), mesin debit elektro (EDM), dan teknologi yang lain mampu menghasilkan peranti yang sangat kecil. MEMS kadang-kadang pergi dengan micromechanics nama, mesin mikro, atau teknologi sistem mikro. Syarikat dengan program MEMS kuat datang dalam pelbagai saiz. Syarikat-syarikat besar mengkhususkan diri di bidang manufaktur komponen kelantangan tinggi atau penyelesaian murah dikemas untuk pasaran akhir seperti kereta, bioperubatan, dan elektronik. Syarikat kecil yang berjaya memberikan nilai dalam penyelesaian inovatif dan menyerap kos fabrikasi tersuai dengan margin penjualan yang tinggi. Selain itu, kedua-dua syarikat besar dan kecil bekerja di R & D untuk mengeksplorasi teknologi MEMS. Kompleksitas dan prestasi canggih berasaskan MEMS sensor yang digambarkan oleh pelbagai MEMS sensor generasi. (Lebih lanjut...)